高精度光譜橢偏儀器針對科研和工業環境中薄膜測量推出的高精度快速攝譜型光譜橢偏儀，波長范圍覆蓋紫外、可見到紅外。 ES01光譜橢偏儀基于高靈敏度光譜探測單元和光譜橢偏儀分析軟件，用于測量單層和多層納米薄膜的層構參數（如，厚度）和物理參數（如，折射率n、消光系數k，或介電函數ε1和ε2），也可用于測量塊狀材料的光學性質。

產品型號：BX-G101

更新時間：2024-05-14

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關鍵詞：

橢偏儀儀器光譜橢偏儀橢偏儀分析橢偏儀設備分光橢偏儀

產品用途：高精度光譜橢偏儀器

BX-G101系列針對科研和工業環境中薄膜測量推出的高精度快速攝譜型光譜橢偏儀，波長范圍覆蓋紫外、可見到紅外。光譜橢偏儀基于高靈敏度光譜探測單元和光譜橢偏儀分析軟件，用于測量單層和多層納米薄膜的層構參數（如，厚度）和物理參數（如，折射率n、消光系數k，或介電函數ε1和ε2），也可用于測量塊狀材料的光學性質。

儀器特點：高精度光譜橢偏儀器

1. *的旋轉補償器測量技術：橢偏角△的測量范圍是0-360o，無測量死角問題，也可消除粗糙表面引起的消偏振效應對結果的影響

2. 秒級的全光譜測量速度：全光譜測量典型時間5-10秒

3. 原子層量級的檢測靈敏度：可以測量單原子層

4. 視頻式樣品對準：準確完成樣品對準，并方便觀察，減小人為誤差

5. 多入射角度調節：多入射角度結構設計，增強了儀器測量的靈活性，尤其適合于超薄樣品或復雜的樣品的測量場合

6. 反射率/透射率測量：對樣品進行光譜透射率和反射率測量

7. 一鍵式儀器操作：對于常見操作，只需鼠標點擊一個按鈕即可完成復雜的測量、建模、擬合和分析過程，豐富的模型庫和材料庫也同時方便了用戶的高級操作需求

技術參數：